流動脫氣一般是用于比表面快速分析的，它對于除去表面大量弱結合的吸附水非常好， 但對在孔道中吸附的水，只有經長時間吹掃使之擴散至表面，才能被帶出。
真空脫氣對于除去表面大量弱結合的吸附水是不好的,因為水會在泵中擴散，導致泵的抽力下降。但對孔中吸附的水,不需要經很長時間就能擴散至表面，繼而被帶出。所以，對于含水量較高的樣品，應先在烘箱中烘烤過夜，再上真空脫氣站，以保護真空泵。對于真空脫氣來說，其對樣品清潔能力明顯優于流動脫氣，但同時需要考慮的是真空度不同，脫氣效率是明顯不同的。對于含有超微孔樣品，深層次的吸附水分子因氫鍵結合可以堵塞孔道，它們必須經過分子泵脫氣才能清除，即脫氣站真空度必須達到與分析站同樣的真空度。5埃分子篩脫氣處理后的程序升溫脫附(TPD)5 埃分子篩脫氣處理后的程序升溫脫附。
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